News Center

Keithley、1fAまで測定可能なI-V特性測定器などの販売を開始

[issued: 2007.09.25]

この記事を : 印刷する

ブックマーク

メールで送る

　米Keithley Instruments社は2007年9月、I-V特性測定器「2635」と「2636」、デジタルマルチメーター兼システムスイッチ「3700シリーズシステムスイッチ/マルチメーター」、RFベクトルシグナルジェネレータ用の波形作成ソフトウエア「シグナルマイスタ」の販売を開始した。

1fAの分解能を備えたI-V特性測定器

　2635と2636は「2600シリーズシステムソースメータ」のシリーズ製品であり、それぞれ1チャンネル、2チャンネルの測定チャンネルを備える（写真1）。89mm×213mm×460mmの筐体にソースメジャーユニットとデジタルマルチメーター、バイアスソース、低周波パルスジェネレータ、任意波形発生器、デジタルI/Oを統合している。その特徴は、1fA（フェムトアンペア：10-15A）の測定分解能を備えることで、I-V特性をはじめとする特性測定を高い精度で行える。また、他社製品と比較して微小電流の測定時間が1/4と短いため、試験や計測にかかる時間を短縮できるという。主に、オプティカルデバイスやセンサー、絶縁部品などの電子部品における製造試験や、半導体デバイスにおけるウェーハ状態での信頼性/特性測定、材料開発分野における各種測定などの用途に向ける。価格は、2635が118万9000円で2636が195万9000円。

　2635/2636は、同社独自の測定機器向けプログラム言語である「TSP（test script processor）」と測定機器間の通信インターフェースである「TSP-Link」に対応する。TSPはBASICに似たスタイルの言語であり、これによりセットアップや計測の手順などをスクリプトとして記述することで、2635/2636上でそれをリアルタイムに実行し、自動計測を行うことが可能である。また、TSP-Linkによれば、100メガビット/秒の通信速度で同インターフェースに対応した計測機器同士を接続できる。2600シリーズをTSP-Linkによってカスケード接続することで、測定チャンネルを最大32チャンネルまで拡張することが可能である。TSP/TSP-Linkによって、複雑な自動計測システムを短時間で容易に構築できるという。

写真1　2635/2636の特徴

　同社でビジネスマネージメントのバイスプレジデントを務めるMark Hoersten氏は、「TSP/TSP-Linkによって、複雑な測定システムもまるで1台の測定器のように取り扱える」とその利点を説明する。その上で、「研究開発部門におけるベンチトップの測定評価システムから工場における量産試験まで、幅広い用途にスケーラブルに対応することができる」（同氏）と述べた（写真2）。

　測定性能は、最大測定電流が1.5Aで最大測定電圧が200V、測定分解能は電流、電圧がそれぞれ1fA～10μAと1μV～1mV。出力性能は、最大電流が±1.515Aで最大電圧が±200V（いずれもチャンネル当たり30.3W以下）、分解能は電流、電圧がそれぞれ20fA～50μAと5μV～5mV。

写真2　2635/2636のスケーラビリティ 2635/2636は、TSP/TSP-Linkによってベンチトップの特性評価システムから量産試験まで、幅広い用途に適用することができる。

最大576チャンネルの信号を切り替え可能なスイッチ/マルチメーター

　3700シリーズシステムスイッチ/マルチメーターは、デジタルマルチメーターとスイッチを統合したもの。デジタルマルチメーター部は、7 1/2桁の測定が可能で、直流/交流電圧や直流/交流電流、周波数、抵抗値、温度など13種類の測定に対応する（写真3）。スイッチ部は、プラグインカードによって拡張可能であり、カードを6枚接続することで最大576チャンネルの信号を制御することができる。また、計測機器間の通信規格であるLXI（LAN extensions for instrumentation）クラスBに対応し、制御イベントの時間同期を実現する。さらに、TSPとTSP-Linkもサポートしており、スケーラブルな測定システムを容易に構築できるという。主に、電子機器や電子部品の自動試験や多チャンネルのI-V試験、加速ストレス試験などの用途に向ける。デジタルマルチメーターやフロントパネルの有無の点で異なる「3706」、「3706-NFP」、「3706-S」、「3706-SNFP」の4製品があり（写真4）、価格は27万2000円から。プラグインカードは、スイッチ数や構成などの違いによって6種類あり、価格は12万4000円から。

写真3　3700シリーズシステムスイッチ/マルチメーターの特徴

写真4　3700シリーズシステムスイッチ/マルチメーターの製品ラインナップ

TD-SCDMAに対応した波形作成ソフトウエア

　シグナルマイスタは任意の波形を作成できる波形作成ソフトウエアであり、作成した波形を同社のRFベクトルシグナルジェネレータ「2910」にダウンロードすることで任意のRF信号を出力することができる（写真5）。GUI（graphical user interface）による操作と、種々の規格に対応した信号作成ライブラリが提供されるため、複雑なRF信号を容易に取り扱うことができるという。最初に提供される信号作成ライブラリは中国の無線信号規格「TD-SCDMA」に対応したもので、それによってTD-SCDMAに対応した製品を早期に市場投入できるという。2910のユーザーはシグナルマイスタを無料で利用可能で、TD-SCDMA用ライブラリの利用ライセンス費用は49万円。（小野明久）