三菱重工業、常温ウェーハ接合装置を本格量産へ

　三菱重工業は、次世代デバイスの高効率・低コスト生産を可能にする常温ウェーハ接合装置の本格的な量産に乗り出すことを発表した。これまで開発・組立を進めてきた技術本部先進技術研究センター（横浜市）から製造拠点を工作機械事業部本工場（滋賀県栗東市）に移し、事業化を加速させる。

　常温ウェーハ接合装置は、MEMSが形成されたウェーハを常温で接合することにより、デバイスを封止するときなどに使用される。加熱しないため熱ひずみがなく、MEMSデバイスの小型化や高精度化にも対応できるという。また、加熱や冷却の時間が不要のため、従来の接合方法に比べて大幅なコスト低減と工程の短縮を実現するという。接合材料の選択肢が広く、Si、Si酸化膜、メタル、一部のセラミックスなどを接合することが可能で応用分野も広い。

　同社は、常温ウェーハ接合装置として研究試作用装置と量産対応装置の2機種をラインナップ。技術本部とプロジェクト体制を組み事業化を推進してきたが、十分な市場性が見込めることから、担当事業部である工作機械事業部にクリーンルームを新設、本格的な量産体制に踏み切る。

　同社では、MEMSデバイスをはじめ、自動車、携帯電話、電機・電子業界向けに幅広く同装置の販売を見込んでおり、3次元積層LSI製造分野への適用にも積極的に注力して事業拡大を図るという。