シグマテクノスは、大型FPD製造装置用グラナイトXYステージ製造のため建設していた新工場（埼玉県日高市）が完成し、稼動を開始したと発表した。新工場の生産用クリーンルームは、最大長さ約8mのグラナイトを用いてXYステージを製造できる構造となっており、第10世代クラスのガラス基板サイズに対応した大型FPD製造装置用グラナイトXYステージを同時に3台製造することが可能という。

　同社は2004年、それまで外部委託していた石材加工を自社で行うため大垣工場（岐阜県）を設立、原石の輸入から、丸鋸切断、切削加工、祖研磨、精密研磨、NC穴加工、側面加工までの一貫加工ラインを構築した。中国およびインドから石材を仕入れた石材を大垣工場にて加工し、その後、新工場に石材を移送して組立てや加工精度の確認作業を行うという。受注から納品までの納期は、3ヵ月ほど（設計、加工、組立てに各1ヵ月ずつ）で対応できるという。

　新工場の敷地面積は3000m2で、2006年12月に建設を開始、2007年9月に竣工した。同工場への設備投資金額は5億円。延床面積は1850m2で、生産フロア面積は850m2。生産フロアは、搬入フロア、搬入前室、評価用クリーンルーム（クラス1000、40m2）、生産用クリーンルーム（クラス10万、120m2）で構成されている。25tのクレーンを2基設置し、生産用クリーンルームには側壁や天井がフルオープンする構造を採用している。ステージ精度を維持するため、常にクリーンルーム内は温度22℃±1℃、湿度50％（評価室）に保たれるよう設計されている。

　FPD製造の中でも、特にLCDは第8世代や第10世代のようにガラス基板サイズが拡大している。これまで以上に、温度、湿度、振動などに対して安定的で、かつ低コストのステージや制御技術が求められ、今後もグラナイトXYステージはインクジェット装置、コータ、検査装置などで需要の拡大が見込まれる。同社は今回、新工場によって自社生産の能力増強を図り、第10世代基板で同時に3台、第5世代基板および第6世代基板対応装置では12台の同時生産を可能にした。また、評価機を置いたデモルームを用意することでユーザーへのサービスも充実させている。今後、同社では大型FPD製造用グラナイトXYステージ分野でのトップシェアを目指すという。

＜シグマテクノスの概要＞
所在地：埼玉県日高市下大谷沢143-14
設立日：1995年10月16日
資本金：1億円
出資比率：アルバック75％、シグマ光機20％、他
代表取締役社長：田仲健治
主事業：大型FPD製造装置用グラナイトXYステージ