Components

• TDKと半導体エネルギー研究所、フレキシブルRFIDを共同開発(2007年09月28日)
• チッソ、インクジェット対応の高濃度ポリイミド絶縁材料を開発(2007年08月22日)
• オーク設備工業と大林組、中小型クリーンルームシステムを共同開発(2007年08月15日)
• 販売価格の下落で、売上高の減少に向かう半導体市場(2007年06月07日)
• 日本レーザー、日本電子から独立して事業規模の拡大を図る(2007年06月06日)
• 大日本印刷、半導体フォトマスク新会社の営業を開始(2007年06月04日)
• VLSI Research、2006年装置サブシステムの上位10社を発表(2007年05月30日)
• 東工大と富士通研、Si基板上の光学結晶で赤外光伝播を実現(2007年03月30日)
• 日本電産サンキョー、第10世代LCDガラス基板対応の搬送用ロボットを開発(2007年03月14日)
• 信越ポリマー、新工場を建設してウェーハケースの生産能力を増強(2007年02月23日)
• Qimonda社とOvonyx社、PCRAM技術に関する長期的クロスライセンス契約を締結(2007年01月23日)
• 日立、CMOS配線層にMEMSを積層した圧力センサーLSIを試作(2007年01月23日)

• ST、イタリアにMEMS専用の200mmウェーハ製造工場を建設(2006年12月12日)
• FDK、米粒サイズのステッパモーターを開発(2006年10月02日)
• 富士通研究所、ミニエン向けリアルタイム汚染センサーを開発(2006年09月28日)
• 産総研、空気中の水素濃度を0.5ppm〜5％まで検知するマイクロ熱電式センサーを開発(2006年08月29日)
• 工場換気などの排気風力を利用して発電する装置(2006年06月30日)
• 安川電機とBrooks、販売/サービスの合弁会社を設立へ、 Synetics SolutionsはBrooksに譲渡(2006年05月12日)
• Advanced EnergyのMFC「Aera Transformer」を 日本の主要半導体装置メーカーが標準品として認定 (2006年03月09日)
• 日立プラント、超低露点空気供給設備を開発 低コスト化を実現、さらには製造装置内のN₂の置きかえも可能に (2006年02月23日)

• コヒレント・ジャパン、エキシマレーザの販売を開始(2005年10月05日)
• ウシオ電機、300mmウェーハ対応の波長126nm真空紫外線エキシマ光照射装置を開発(2005年09月07日)
• 日本MKS、日本市場で新しいAPCソリューションの提供を開始(2005年08月29日)
• 重厚長大産業から半導体分野に進出しても生き残る(2005年07月15日)
• AE、高い応答速度と流量安定性を持つMFC「Aera PI-980」を発表(2005年07月07日)
• シャープ、半導体工場の無希釈排水から窒素を90％以上除去する技術を開発(2005年06月16日)
• 東京エレクトロン、DataPowerの「DataPower XA35 XMLアクセラレータ」を国内販売(2005年04月22日)
• Cymer、量産向けの液浸リソグラフィ光源を出荷開始(2005/04/13)
• AvizaとAir Liquidが共同開発に合意(2005/04/05)
• MykrolisがExtractionを吸収合併液浸リソ工程の汚染制御技術の確立を急ぐ(2005/04/04)
• Intelが資材/サービス供給企業17社を表彰（受賞企業リンク）日本からは大日本スクリーン製造、日立国際電気、TOKなど(2005/03/31)
• VLSI Researchが製造装置メーカートップ10を発表　AMATが首位、TEL、ASMLが続きアドバンテストが急伸(2005/03/24)
• EntegrisとMykrolisが合併で合意(2005/03/23)
• Chartered、TELや荏原製作所を表彰(2005年03月03日 )
• AE、FPD向けPVD装置用のDC電源を発表(2005/02/22)
• MKS Instruments、大幅増益で2004年度通年の純利益は6984万米ドル(2005/02/16)
• Green, Tweed & Co.、FPD製造装置用シールを発売(2005/01/28)

• ギガフォトン、インジェクションロック方式のArFエキシマレーザーを開発(2004/12/09)
• 安川電機、ウエーハ搬送ロボット「MOTOMAN-RC1000G」を開発(2004/11/29)
• 安川電機、超精密ＸＹエアステージを開発(2004/11/26)
• アルバック、300mm対応メタル成膜装置用に新型プラットフォームを開発(2004/11/26)
• アルバック・ファイ、C60イオン銃搭載のXPS装置を販売開始(2004/11/16)
• Electronic Newsから：Cymer、EUV光源にLPP方式を採用(2004/11/05)
• BOC Edwards、Akrionから薬品調合･供給装置を大量受注（2004/10/21）
• 「プロセス製造装置をコンピュータ・ウィルスから守れ」（2004/09/29）
• Electronic Newsから：MKS、2004年第3四半期の売上額を下方修正（2004/09/22）
• 0.5SCCM微小流量でも制御できるマスフロー・コントローラ(2004/09/09)
• 熱膨張係数をカスタマイズできるセラミック材料(2004/09/07)
• 古河電気・三洋電機、高電圧設備向け「無線温度監視システム」を共同開発(2004/09/07)
•  米MKS Instruments社・米Umetrics社、新しいAPCソリューションを共同開発(2004/08/30)