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Components
TDKと半導体エネルギー研究所、フレキシブルRFIDを共同開発(2007年09月28日)
チッソ、インクジェット対応の高濃度ポリイミド絶縁材料を開発(2007年08月22日)
オーク設備工業と大林組、中小型クリーンルームシステムを共同開発(2007年08月15日)
販売価格の下落で、売上高の減少に向かう半導体市場(2007年06月07日)
日本レーザー、日本電子から独立して事業規模の拡大を図る(2007年06月06日)
大日本印刷、半導体フォトマスク新会社の営業を開始(2007年06月04日)
VLSI Research、2006年装置サブシステムの上位10社を発表(2007年05月30日)
東工大と富士通研、Si基板上の光学結晶で赤外光伝播を実現(2007年03月30日)
日本電産サンキョー、第10世代LCDガラス基板対応の搬送用ロボットを開発(2007年03月14日)
信越ポリマー、新工場を建設してウェーハケースの生産能力を増強(2007年02月23日)
Qimonda社とOvonyx社、PCRAM技術に関する長期的クロスライセンス契約を締結(2007年01月23日)
日立、CMOS配線層にMEMSを積層した圧力センサーLSIを試作(2007年01月23日)
ST、イタリアにMEMS専用の200mmウェーハ製造工場を建設(2006年12月12日)
FDK、米粒サイズのステッパモーターを開発(2006年10月02日)
富士通研究所、ミニエン向けリアルタイム汚染センサーを開発(2006年09月28日)
産総研、空気中の水素濃度を0.5ppm〜5%まで検知するマイクロ熱電式センサーを開発(2006年08月29日)
工場換気などの排気風力を利用して発電する装置(2006年06月30日)
安川電機とBrooks、販売/サービスの合弁会社を設立へ、 Synetics SolutionsはBrooksに譲渡(2006年05月12日)
Advanced EnergyのMFC「Aera Transformer」を 日本の主要半導体装置メーカーが標準品として認定 (2006年03月09日)
日立プラント、超低露点空気供給設備を開発 低コスト化を実現、さらには製造装置内のN
2
の置きかえも可能に (2006年02月23日)
コヒレント・ジャパン、エキシマレーザの販売を開始(2005年10月05日)
ウシオ電機、300mmウェーハ対応の波長126nm真空紫外線エキシマ光照射装置を開発(2005年09月07日)
日本MKS、日本市場で新しいAPCソリューションの提供を開始(2005年08月29日)
重厚長大産業から半導体分野に進出しても生き残る(2005年07月15日)
AE、高い応答速度と流量安定性を持つMFC「Aera PI-980」を発表(2005年07月07日)
シャープ、半導体工場の無希釈排水から窒素を90%以上除去する技術を開発(2005年06月16日)
東京エレクトロン、DataPowerの「DataPower XA35 XMLアクセラレータ」を国内販売(2005年04月22日)
Cymer、量産向けの液浸リソグラフィ光源を出荷開始(2005/04/13)
AvizaとAir Liquidが共同開発に合意(2005/04/05)
MykrolisがExtractionを吸収合併液浸リソ工程の汚染制御技術の確立を急ぐ(2005/04/04)
Intelが資材/サービス供給企業17社を表彰(受賞企業リンク)日本からは大日本スクリーン製造、日立国際電気、TOKなど(2005/03/31)
VLSI Researchが製造装置メーカートップ10を発表 AMATが首位、TEL、ASMLが続きアドバンテストが急伸(2005/03/24)
EntegrisとMykrolisが合併で合意(2005/03/23)
Chartered、TELや荏原製作所を表彰(2005年03月03日 )
AE、FPD向けPVD装置用のDC電源を発表(2005/02/22)
MKS Instruments、大幅増益で2004年度通年の純利益は6984万米ドル(2005/02/16)
Green, Tweed & Co.、FPD製造装置用シールを発売(2005/01/28)
ギガフォトン、インジェクションロック方式のArFエキシマレーザーを開発(2004/12/09)
安川電機、ウエーハ搬送ロボット「MOTOMAN-RC1000G」を開発(2004/11/29)
安川電機、超精密XYエアステージを開発(2004/11/26)
アルバック、300mm対応メタル成膜装置用に新型プラットフォームを開発(2004/11/26)
アルバック・ファイ、C60イオン銃搭載のXPS装置を販売開始(2004/11/16)
Electronic Newsから:Cymer、EUV光源にLPP方式を採用(2004/11/05)
BOC Edwards、Akrionから薬品調合・供給装置を大量受注(2004/10/21)
「プロセス製造装置をコンピュータ・ウィルスから守れ」(2004/09/29)
Electronic Newsから:MKS、2004年第3四半期の売上額を下方修正(2004/09/22)
0.5SCCM微小流量でも制御できるマスフロー・コントローラ(2004/09/09)
熱膨張係数をカスタマイズできるセラミック材料(2004/09/07)
古河電気・三洋電機、高電圧設備向け「無線温度監視システム」を共同開発(2004/09/07)
米MKS Instruments社・米Umetrics社、新しいAPCソリューションを共同開発(2004/08/30)