Semiconductor International 日本版（以下SIJ） ：貴社計測器ビジネスの現況は？海老原 ：Agilentのパラメトリックテスターは25年におよぶ実績がある。現在の市場シェアは約80％。ほとんどの半導体メーカーでウェーハの歩留まりモニターおよびチェックを行うテスターとして使用されている。現在、300mmウェーハ、65 nmプロセスの開発に使用されている。業績では、過去の歴史の中でも2004年が当社にとって今までで一番良い年だった。
SIJ ：では2005年は？海老原 ：2000年ほどの落ち込みはないだろう。2005年はあまり大きな心配はしていない。半導体は成熟した技術ともいわれるが、450 mmウェーハの検討も始まり、65 nm量産も早いところでは1〜2年内に始まる。微細化は継続していく。堅調な研究開発投資が実施され、新しいデバイスの量産に向けて各社が動いている。技術的な挑戦も多く、膨大なデータを測らなければ新しいプロセスを安定化することはできない。ユーザーからいろいろな要望が増えていくと見ている。昔、パラメトリックテスターといえば基本的にはDCの電流/電圧のみを測る装置だった。今では、インピーダンスモニターからマイクロウェーブのネットワークアナライザまでをパラメトリックテスターに組み込んでおり、ネットワークアナライザは周波数帯でいうと10〜45GHzを搭載しないと半導体が測れないような状況だ。
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SIJ ：2004年にAgilent Technologiesは、FPD用のアレイテスターに参入した。その経緯は？海老原 ：Agilentは旧Hewlett-Packardの時代、およそ41年前から製品開発の責任範囲を日本法人にも与えていた。その当時から受動電子部品測定器の日本での開発を始めている。そして1980年代初頭に半導体テスター市場に参入した。パラメトリックテスターを開発し、その後、ICテスターに参入した。2004年にFPD用のアレイテスターを製品化した。今まで、パラメトリックテスターのビジネスの延長線上で何か新しいビジネスはないかと模索していたが、アレイテスターに適用できると思いついた。当社で低温ポリシリコンとアクティブマトリックスの有機EL（OLED）ディスプレイのアレイテスター「Agilent 88000 HS-100」を開発した。海老原 ：アレイテスターの中核の技術は、パラメトリックテスト技術の延長上にある。低温ポリシリとアクティブマトリクスOLED用は自社で開発した。しかし、それだけでは市場が小さい。もっと早く市場に参入したかったため、IBMから資産を導入した。IBMは12年ぐらい前からアレイテスターを自社アモルファスシリコン（a-Si）TFT用に製品化し、外販もしていた。当社半導体パラメトリックテスト事業部に移管し、IBMが保有していた技術、製品知識、納入実績、顧客との関係も統合した。第6、7世代ガラス基板向けの「Agilent 88000 ATS-600」を当社でラインナップする。今後は、当社が長年にわたり実証したテスト、測定の知識および世界でのサポート体制を融合し、テストコストを削減、将来のFPDビジネスにもっと貢献できればと思っている。
