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2005年4月号
　 　 Process
●イオン注入装置 Optima MD
連絡先：米Axcelis Technologies社, www.axcelis.com/
●イオン注入装置 VⅡSta HC
連絡先：米Varian Semiconductor Equipment Associates社, www.vsea.com
国内連絡先：バリアンセミコンダクターイクイップメント株式会社, www.japan.vsea.com
●電子ビームウェーハ直接描画装置 Leica SB351 DW
連絡先：独Leica Microsystems社, www.leica-microsystems.com
国内連絡先：伯東株式会社, www.hakuto.co.jp
　 　 Metrology and Inspection
●マスク欠陥修正装置 SIR7000FIB
国内連絡先：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社, www.siint.com
●測長SEM装置 VeritySEM
連絡先：米Applied Materials社, www.appliedmaterials.com
国内連絡先：アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社, www.appliedmaterials.co.jp
●ワイドレンジAFM装置 AS-7B-AUTO/W
国内連絡先：タカノ株式会社, www2.takano-net.co.jp/gazou/
●ナノ空孔計測装置 PALS-1
国内連絡先：フジ・インバック株式会社, www.fuji-imvac.co.jp/
　 　 Parts
●PVD装置用のDC電源 Summit
連絡先：米Advanced Energy社, www.advanced-energy.com
国内連絡先：アドバンスド エナジー ジャパン株式会社, www.advanced-energy.co.jp
●電子部品試験装置 Source Meter 2600
連絡先：米Keithley Instruments社, www.keithley.com
国内連絡先：ケースレーインスツルメンツ株式会社, www.keithley.jp
　 　 Software
●自動OPC検証ツール Applied OPC Check
連絡先：米Applied Materials社, www.appliedmaterials.com
国内連絡先：アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社, www.appliedmaterials.co.jp
　 　 Material
●工業用硬質塩化ビニル板
連絡先：三菱樹脂株式会社, www.mpi.co.jp
●熱変形測定器 Omistrain ETR
連絡先：アイルランドOptical Metrology Innovation社, www.optical-metrology.com
国内連絡先：伯東株式会社, www.hakuto.co.jp

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