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2005年5月号
    Process
●CNT成膜装置 CN-CVD-800
連絡先:株式会社アルバック www.ulvac.co.jp
●ウェーハボンディング装置 EVG520IS
連絡先:オーストリアEV Group社 www.evgroup.com
    Metrology and Inspection
●LSIテスター用カード 93000SOCシリーズ
連絡先:アジレントテクノロジー www.agilent.co.jp
●メモリーテストシステム T5372
連絡先:株式会社アドバンテスト www.advantest.co.jp
●マスクブランクス欠陥検査装置 M3320
連絡先:レーザーテック株式会社 www.lasertec.co.jp
    Software
●歩留まり管理ソフト YieldView 2.9
連絡先:米Rudolph Technologies社 www.rudolphtech.com
●Run-to-Runアプリケーション Run-to-run (R2R)モジュール
連絡先:米Brooks Software社 www.brookssoftware.com
    Material
●レチクルSMIFポッド 先端レチクルSMIFポッド
連絡先:米Entegris社 www.entegris.com
●シール材 バルカーアーマーTSシール
連絡先:日本バルカー工業株式会社 www.valqua.co.jp
●帯電防止剤 エスペイサー300Fシリーズ
連絡先:昭和電工株式会社 www.sdk.co.jp

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