図　SEMI規格E132、E134、E120がInterface Aに対応する。

　Interface A規格は、XMLベースで半導体メーカーに装置の診断やAPC（Advanced Process Control）などのアプリケーションへのアクセスを可能にし、より便利なシステムを構築する。Microsoftは同社プラットフォーム「.NET」技術を使用し、装置、工場、制御システムを結ぶInterface Aソリューションによる情報共有技術の完成を目指す。
　同社システムの導入を加速させるため、Microsoftは半導体メーカーや製造装置メーカーと共同開発を進めている。同社パートナー企業として名を連ねる、独AIS Automation Dresden社、米Asyst Technologies社、米Cimetrix社、インドHCL Technologies社、米OSIsoft社、米Wonderware社がMicrosoftのInterface Aソリューションを採用したという。
　米International SEMATECH Manufacturing Initiative（ISMI）のe-manufacturingプロジェクトマネージャHarvey Wohlwend氏は「Interface A規格は、オンラインで新プロセスの導入を高速化し、プロセス性能を向上する高速データ通信規格としての地位を急速に確立しつつある。ISMIは引き続き業界が同規格に対応できるよう、業界を牽引する役割を担っている。Interface Aに対応したプラットフォームを提供するメーカーは多く、同技術は成熟しつつある。そしてMicrosoftのようなプラットフォームを提供するメーカーが今後の鍵を握る」という。いくつかのSEMI規格はInterface Aの詳細を定義している（図）。
　半導体メーカーが直面する課題の一つに、新工場にオンラインを導入する需要が少ないことが挙げられる。新しい工場は、運営するだけでも複雑なIT環境が必要で、新技術の導入に伴うリスクや時間は最小限でなければならない。このために、Microsoftは立ち上げにかかる時間を短く、信頼性を向上するように工場のIT技術導入をサポートできるという。さらにMicrosoftの.NET技術を採用したInterface Aソリューションのウェブサービスにより製造装置の微調整が可能となり、歩留まりを最大化、ダウンタイムを最小化できるという。

　「当社はInterface Aを市場に広めるように技術と専門知識でパートナー企業をサポートしていく。当社はウェブベースのアーキテクチャを開発する深い専門知識を有し、半導体業界にも.NET技術によりInterface Aの早期導入に貢献できる」とMicrosoft Manufacturing Indsutry Unit High-tech IndustryマネージャJohn McCallum氏は述べている。
　CimetrixエグゼクティブバイスプレジデントDave Faulkner氏は、「CimetrixのすべてのソフトウェアはMicrosoftのプラットフォームで開発された。MicrosoftのInterface A規格への参入はこの規格を容易にかつ高速に適用させることができる」という。同社のInterface Aを採用した製品「CIMPortal」の試作版は.NET技術を採用し2003年にすでに導入され始めている。「かなり早い段階で、Interface Aに要求される柔軟性や性能を満たすには.NET技術が正しい選択だと分かった。Interface Aは標準規格として完成しつつあり、当社が開発したCIMPortalにより導入が可能だ。Cimetrixは2005年に半導体工場での採用が加速することを期待している」。