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2005年7月号
　 　 Process
●EB露光装置 MPL
連絡先：日本レーザー www.japanlaser.jp
●RTP装置 Applied Vantage RadOx RTP
連絡先：米Applied Materials社 www.appliedmaterials.com
●ナノインプリント・リソグラフィ装置 NPS300
連絡先：独SUSS MicroTec社 www.suss.com
　 　 Metrology and Inspection
●TEM装置 Titan 80-300
連絡先：米FEI社 www.feicompany.com
●明視野検査装置 UVision
連絡先：米Applied Materials社 www.appliedmaterials.com
●SEM装置 EVOシリーズ
連絡先：独Carl Zeiss SMT社 www.smt.zeiss.com
●CD測定器 Innova-D
連絡先：米Micro-Metric社 www.micro-metric.com
●分光測光器 QDI2000
連絡先：米CRAIC Technologies社 www.microspectra.com
●プリント配線板用外観検査装置 PI-8200
連絡先：大日本スクリーン製造 www.screen.co.jp
●メモリーテストシステム メモリーテスターT5588
連絡先：アドバンテスト www.advantest.co.jp
　 　 Parts
●イオン源 Nexus 420
連絡先：米Veeco Instruments社 www.veeco.com
　 　 Facility
●窒素精製装置 Balston HFXシリーズ
連絡先：米Parker Hannifin社 www.parker.com/balston
●超純水ヒーター QUANTUM
連絡先：米TREBOR社 www.treborintl.com
国内連絡先：ヒロテック www.hiro-tec.com

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