「カーボンナノチューブの先端部（チップ）はAFMの診断ツールとして効果をより上げることができ、製造現場でインライン測定を行うことができる」とXidex創設者兼CTO Vladimir Mancevski氏は語る。同氏はCNTチップ製造に関する特許も保有している。「最も重要なことは設計によって成長させることである。また製造プロセスでは、縮小化してチップ製造を同時に大量生産できるようにしなければならない」
「これは寸法測定アプリケーション用の超高分解能SPMチップを製造する上で鍵になる。Xidexのプロセスでは直径や長さ、方向などCNTチップ形状を精密に制御することが可能で、Sematechのメンバー企業の要求に応えている。CNTチップは導電性で、化学的に形状を変えることができるため、最先端の電気化学試験専用のチップを製造することも可能だ」と米テキサス大学助教授 Keith J. Stevenson氏とJack S. Josey Fellow 氏は語る。
従来のSiチップに比べて、CNTのチップはずっと小さい直径と高いアスペクト比で製造することができる。このため、微細な構造の間などアクセスが困難な場所にも近づけることができるとXidexは説明している。また、CNTチップは耐磨耗度も極めて高いため長い期間、超精密測定が可能であると同社は言う。
