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2005年7月号
Lithography
EUVの経済性向上は何ともしがたい
EUVを安価に実現する方法はない
Aaron Hand
＊　＊　＊　＊
　2005年のSPIE Microlithographyの雰囲気は昨年とは異なるものだった。昨年は液浸とナノインプリントの可能性にみなが乱舞し、同じようにEUVリソグラフィ技術も揺るぎない自信のもと実現できると考えられて見えた。しかし、今年聞かれたのは、液浸が本当に量産現場で実現できるかという泥臭い話に終始した。そしてもっと話題に上っていたのは、EUVが次世代リソグラフィ技術（NGL：Next Generation Lithography）の候補にはなり得ないのではないかということだった。
　米Intel社の揺るぎない決断は別として、多くの人々がEUVリソグラフィを非難し始めている。SPIEの席上では、米スタンフォード大学教授のFabian Pease氏がEUVを「今まで見たことのない言語道断の羊の皮をかぶった狼」と酷評した。
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　Pease氏の発表は “Lithography Techniques That Haven’t （Yet） Made It; Lessons Learned（まだ完成していないリソ技術：学んだこと）”と題し、EUVに向けたものではなく、多くの過去のリソ技術についてであった。今まで多くの技術が消えていった。誇張もあるがAからZまで全てのアルファベットの数だけ技術が登場し消えたという。Pease氏の論点は新しい光学リソ技術の採用の難しさは、経済性に負うところが大きいと指摘する。EUVはNGLの中で高価すぎ、また、光学系リソでカバーできる領域であるにもかかわらず、高価なのが問題だという。
　Pease氏曰く、既存の技術を置き換えるには、「新技術は既存の10倍良くなくてはならない」。この場合、「良い」というのは、微細パターンの形成、パターンサイズの制御性、焦点深度、スループット、オーバーレイ、低コストなどの側面で既存技術に勝るコンビネーションが必要だ。これらすべての要素を考慮すると、マスクコストや光学系部材コストが高騰しているのもかかわらず、コスト要因で勝ち続けることができる既存リソ技術に勝つのは難しい。「光学リソは、定着した現存する技術。私の在任期間だけでなく、あなた方の世代でも使われ続けるものだ」と米テキサス大学Austin校化学エンジニアリング教授Grant Willson氏は招待講演で述べている。EUV露光装置のα機の写真を見せながら、同氏は「この写真には必要な5 kWのレーザー光源が写っていない。それは存在しないからだ。不運にもこの技術は完成しない」と断言した。Willson氏はパネルディスカッションにも参加し、32nm以降のNGLの可能性についても言及し「EUVを経済的に実行する方法はないと思う」と述べている。
　こう考えるのはWillson氏やPease氏だけではない。米Idea Industries社のコンサルタントでリソ業界のエキスパートであるKaren Brown氏も「NGLはNo Good Lithographyの略で、EUVは完成前に消滅する」と厳しい。大きな懸念は、NGL候補技術の開発は長引き、開発コストが増大していることだ。しかし、今年のEUVレジストに関する論文は7件しかなく、「市場に認知されるための道のりは長い」。
　今までの歴史を見ると候補技術の勝者は強い光源を完成させており、EUVだけが現状例外だと米IBM社のTim Brunner氏は述べる。「これは挑戦といえよう」。
　しかし、これは克服できる挑戦だとEUV推進派は語る。NGLに関するパネルディスカッションでは、IntelのMichael Goldstein氏が「EUV光源はまだ量産に必要な目標値にはほど遠いが、昨年一年で4倍に増加した」。ArFリソグラフィはビジネス的な側面から極限まで延命されるが、EUVは低価格になり次第、導入され始めるという。ArFの過去の開発状況を議論しながら、EUV開発は計画通りであり12年目には量産が開始されると意気込む。この計画に沿っていくことが重要で、分散してしまうことは抑えなければならないとGoldstein氏は述べる。
　ナノインプリント・リソグラフィ技術が、EUVに集まる視線をそらしている。Pease氏は、すべてが証明されたわけではないが、高スループットで微細パターンを形成する能力を秘めているという。加えて、多くのNGLには莫大な費用がかかるが、ナノインプリント・リソグラフィ技術は例外だという。
　Pease氏はナノインプリントが破壊的技術だというのだろうか。同技術は、ニッチな市場で活用され、開発も続けられ、推進力を増加させて突然光学リソを置き換えるかもしれない。米Hewlett-Packard 社研究所のWilliam Tong氏も、ナノインプリントを破壊的技術と呼んでいる。彼の言い方では、どうにか開発が維持されている技術は資金力のないユーザーを相手にしないため、あなたが知らぬ間に、破壊的技術が市場で取って代わっている。

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