2005年8月号

Process

●ArF液浸露光装置 NSR-S609B

連絡先：ニコン www.nikon.co.jp

●バッチ式洗浄装置 FC-3100

連絡先：大日本スクリーン製造 www.screen.co.jp/

Metrology and Inspection

●FDCシステム Imprint ＭＸ2

連絡先：アイルランドStraatum Processware社 www.straatum.com

●検査・測定装置用プラットフォーム VANGUARD-II

連絡先：米Rudolph Technologies社 www.rudolphtech.com

●MCPメモリー用テスター T5587

連絡先：アドバンテスト www.advantest.co.jp

Parts

●真空対応ロードロックシステム Carousel 200

連絡先：米Transfer Engineering and Manufacturing社 www.transferengineering.com

●バルブ AVNVM

連絡先：旭有機材工業 www.asahi-yukizai.co.jp

●Pbフリー対応はんだペースト用ミキサー SP-500

連絡先：シンキー www.thinky.co.jp

Facility

●TOC計 5000 TOC

連絡先： 米Mettler-Toledo Thornton社 www.thorntoninc.com 国内連絡先： メトラー・トレド www.jp.mt.com

●制振台 BaseMate

連絡先：米Kinetic Systems社 www.kineticsystems.com

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