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| ●真空対応ロードロックシステム |
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Carousel 200は、高真空に対応したロードロックシステム。SEMI規格に準拠しており、ウェーハをプロセスチャンバへと搬送する。電力は外部モータより供給されており、真空雰囲気を解除することなく基板の搬送が可能となっている。カルーセル（回転木馬）形状で回転する内部プラットフォームには独立した制御が可能な2つのリニアドライブが搭載されている。最大200mmまでのウェーハやマスク基板が可能。通信インターフェースRS-232に対応する。
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| 連絡先：米Transfer Engineering and Manufacturing社 www.transferengineering.com |
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| ●バルブ |
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AVNVMは旭有機材工業のバルブ「Dymatrix」シリーズの手動ニードル弁。接液部にPTFEを採用し、ダイアフラムシールにより摺動部を隔離することでパーティクルの発生を抑えている。リニアな流量特性と微調節が可能な2 重ネジ構造を採用し、流量調節が容易となっている。サイズは、0.25〜0.5インチを揃え、流れ方向はストレート、垂直アングル、水平アングル（L、R）から選択できる。流体温度は5〜80℃、構造耐圧は1MPa、使用圧力範囲は0〜0.5MPaに対応する。 |
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| 連絡先：旭有機材工業 www.asahi-yukizai.co.jp |
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| ●Pbフリー対応はんだペースト用ミキサー |
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あわとり練太郎 SP-500は、Pbフリー対応のはんだペースト用ミキサー。あわとり練太郎シリーズで実績の高い独自の自転・公転プロペラレス混和方式を採用した。はんだメーカーが提供する500g容器をそのままセットすることができ、また、容器を自転させながら公転させ強力な加速度を発生させることで攪拌と脱泡を数分で同時に行うことが可能となった。10段階のステップ攪拌により温度・粘度の調整が可能。攪拌時の摩擦熱を使用した温度設定により、結露の発生を抑えられる。価格は55万円。 |
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| 連絡先：シンキー www.thinky.co.jp |
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