Conley氏の研究グループは、米Rochester Institute of Technologyに設置されている英Exitech社のNA（開口数）1.05の露光装置を使ってさまざまなタイプのPAG（Photoacid Generators、光酸発生剤）を検証し、PAGがいかにして水や水表面と作用するかを調べた。TPS-Tf、TPS-Nf、TPS-Of（PEOS）型などいくつかのPAGでアニオンの連鎖の長さで浸出量の増加が見られた。PFOSのアニオン鎖長は8でPAGの濃度は80ppb、アニオン鎖長が1のTPS-Tfで5ppb未満となった。
レジスト内のPAGの量の影響を検証した結果もある。PAG 1％では表面測定で5ng/mLを継続して記録したが、PAG 5％では水と接触した初めの瞬間に急峻に浸出し、減少していった。この結果を見て、レジストをリンスしてみた。「PAGの浸出量と時間の関係を見ると、浸出ははやくに発生することが分かり、減少することなく、緩やかに増加していく」という。
実験では、0、1、10、15秒のリンスでプロセスウインドウのばらつきは見られなかったが、30秒と60秒の結果では露光ラチチュードと焦点深度の減少も見られた。また、さまざまなリンス時間でのコントラストへの影響を比べたが、15秒までの違いは少なく、30秒のリンスでコントラストは30％減、60秒のリンスでコントラストはおよそ50％減少したとしている。
