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図 モデリングは、実際に直接測定することができないものを測定する方法の1つになってきている。モデリングは特性評価を行う上で重要な役割を果たすと考えられる |
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プロセスパラメータを決めるためにモデルが使われる。そして、このモデルは寸法または他の特性がトランジスタの性能から生産性まで幅広く推測するのに応用することができる。モデルは生産の多様性やトランジスタ特性への影響を考慮することも可能である。生産性を考慮して、チップ内のトランジスタ電流をどの幅で持たせるかということを取り入れたモデルを構築することが必要となってくるであろう。しかし、このモデルはSiNの膜厚幅を決めるモデルと矛盾したものになるかもしれない。一般的に膜厚は計測できるものであるが、埋め込みチャネルの応力を計測することは不可能である。これらのモデルはナノテクノロジーにはなくてはならない計測技術になるであろう。
