2006年3月号

Process

●イオン注入装置 VIISta 900XP

連絡先：米Varian Semiconductor社 www.vsea.com 国内連絡先：バリアンセミコンダクターイクイップメント www.japan.vsea.com

●はんだバンプ形成装置 超ファインピッチはんだバンプ形成装置

連絡先：タムラ製作所 www.tamura-ss.co.jp

Metrology and Inspection

●マスク用CD測定装置 5700-CDRT

連絡先：米n&k Technology社 www.nandk.com 国内連絡先：稲畑産業 www.inabata.co.jp

Parts

●レーザー光源 XLA 400

連絡先：米Cymer社 www.cymer.com

●レーザー光源 COMPexPro 1000

連絡先：コヒレント･ジャパン www.coherent.co.jp

Facility

●静電気測定器 Static Sensor MODEL 7200シリーズほか

連絡先：ヒューグルエレクトロニクス www.hugle.co.jp

Materials

●封止材 Hysol FP4451TD/FP4800

連絡先：独Henkel社 www.henkel-technologies.com

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