2006年7月号

Process

●プリクリーン装置 Certas

連絡先：東京エレクトロン www.tel.com.

●ウェットベンチ MultiStep

連絡先：独AP&S社 www.ap-s.de.

Metrology and Inspection

●走査電子顕微鏡 SU-70

連絡先：日立ハイテクノロジーズ www.hitachi-hitec.com

Materials

●プラズマプロセス装置用シール Chemraz 644

連絡先：Green, Tweed & Co. www.gtsemi.com

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