リソグラフィプロセスをアートからサイエンスへと転換させる取り組みとして始まったものが、130nmプロセス以降の生産では不可欠なものとなった。今日サプライヤは、歩留まり向上と製品化への期間を短縮するため、スピードと精度の両方を上げようとしている。