Rick Wallace氏は昨年1月に米KLA-Tencor社CEOに任命された。過去18年、社長兼COO、レチクルおよびマスク検査部門とフィルム/表面処理技術部門バイスプレジデント、ソフトウェア/顧客グループCTO、そしてウェーハ検査部門のエクゼクティブバイスプレジデント、社内の要職を歴任している。ウェーハ検査部門でマーケティングの部長と同時にリソグラフィ制御グループのグループバイスプレジデントを努めた。1988年にアプリケーションエンジニアとして入社。それ以前は、米Ultratech Stepper社と米Cypress Semicoductor社でエンジニアとしてリソグラフィおよび歩留まり管理技術の経験を積んできた。ミシガン大学で電子工学士、サンタクララ大学で技術経営の修士号を取得。