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2006年9月号
　 　 Process
●レーザー描画装置 μPG101
連絡先：日本レーザー www.japanlaser.jp
●PVD/CVD装置 Applied Endura iLB II
連絡先：米Applied Materials社 www.appliedmaterials.com
●超臨界CO2洗浄装置 エスペックとつくばセミテクノロジー
連絡先：エスペック www.espec.co.jp つくばセミテクノロジー www.tst.co.jp
　 　 Metrology and Inspection
●FIB-SEM観察装置 XVision 300
●超音波映像装置 FineSAT II型シリーズ
連絡先：日立建機ファインテック www.hkft.co.jp
●オゾンセンサー メトラー・トレド
連絡先：メトラー・トレド www.thorntoninc.com/jp
　 　 Materials
●Low-k材料・装置 アルバック
連絡先：アルバック www.ulvac.co.jp
　 　 Software
●マスク設計データ計測システム DesignGauge
連絡先：日立ハイテクノロジーズ www.hitachi-hitec.com

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