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2006年12月号
Process
●EB露光装置
F3000
連絡先:アドバンテスト
www.advantest.co.jp
●高温レジスト剥離プロセス
ViPRプロセス
連絡先:エム・エフエスアイ
www.mfsi.co.jp
Metrology and Inspection
●パラメトリックステスタ
Agilent N9201A
連絡先:アジレント・テクノロジー
www.agilent.co.jp
●超音波顕微鏡
EVOLUTIONシリーズ
連絡先:日本レーザー
www.japanlaser.jp
●EUVLマスク・サブストレート/ブランクス検査装置
M7360
連絡先:レーザーテック
www.lasertec.co.jp
●暗視野検査装置
Puma 91xx
連絡先:米KLA-Tencor社
www.kla-tencor.com
●ウェーハ欠陥検査装置
新型外観検査システム
連絡先:メガトレード
www.mega-trade.co.jp