|
|
|
| ●パラメトリックステスタ |
|
Agilent N9201Aは、パラメトリックステスタで、最大40チャンネルのパーチャネルSMU(ソース/モニタユニット)に対応しており、インラインアレイTEGの特性評価を高速に行うことが可能。最先端プロセスの歩留まりを改善するために必要となるプロセスパラメータ最適化の時間を短縮することができる。前工程(FEOL/BEOL)のパラメトリックテスト環境において、従来比3倍〜10倍以上の高スループットを実現しており、統計的プロセス制御(SPC)用に要求されるアクティブ型マトリクスアレイにも対応している。価格は、8SMU構成で約1800万円から。 |
|
| 連絡先：アジレント・テクノロジー www.agilent.co.jp |
|
|
|
| ●超音波顕微鏡 |
EVOLUTIONシリーズは、独SAMTEC社の超音波顕微鏡。超音波顕微鏡は、超音波が物質の境界面で反射する原理を用いて物質の内部構造を非破壊で画像化する。同装置は、基本仕様で発振周波数3〜100MHz、走査範囲1〜150mm角、表示点数4096×4096 pixelとなっており、ハイエンドモデルのEVOLUTION Premiumは、発振周波数100〜2000MHz、走査範囲0.06〜1mm角、表示点数4096×4096〜32000×32000 pixelを実現している。
EVOLUTIONシリーズは、2000MHzトランスデューサを搭載することで方位分解能0.3μmを達成した。これにより、物質内部の微小ボイドや粒界の観察、さらには配線内マイグレーションの観察も可能となっている。スキャンモードは、ライン、断面、層スキャンの他に、斜め方向の層スキャンや連続層スキャンが可能。1回のスキャンで多数の層イメージが取得でき、欠陥の位置情報だけでなく深さ方向の情報が同時に短時間で得られるようになっている。半導体、電子部品、セラミック、金属などの内部クラック、剥離、ボイドなどを検出することができ、半導体分野においては、パッケージを開封せずに内部を検査する故障解析ツールとして使用できる。
日本レーザーがSAMTECとの間で正式代理店契約を締結した。価格は2000万円から。 |
|
| 連絡先：日本レーザー www.japanlaser.jp |
|
|
|
| ●EUVLマスク・サブストレート/ブランクス検査装置 |
|
M7360は、EUVL(Extreme Ultra Violet Lithography)用マスク・サブストレート/ ブランクス検査装置の最新モデル。レーザーテックは、2002年より進めていた米SEMATECHとのEUVL用マスク・サブストレート/ ブランクス検査装置の共同開発が終了し、その開発成果として同装置を完成した。EUVLでは、マスク表面で反射層を形成する多層膜の内部にある微小異物でさえキラー欠陥となる。M7360は、同社マスク・サブストレート／ブランクス検査装置シリーズの中で、最高の検出感度を達成している。1台で検査とレビューが可能。ヘイズや色むらの影響が小さく、マスク・ブランクス製造過程におけるあらゆる基板について高い感度で検査できる。検査光源波長は266nm、検出感度30nmで、 6025サイズのマスクの検査を一枚当たり1時間で検査する。価格は標準仕様で12億円。 |
|
| 連絡先：レーザーテック www.lasertec.co.jp |
|
|
|
| ●暗視野検査装置 |
Puma 91xxは、暗視野パターン付きウェーハ検査装置。感度と使いやすさを強化したことにより、DRAM、SRAM、フラッシュメモリー、ロジックの欠陥捕捉率の高い迅速かつコスト効率のよい検査が可能になった。従来の「Puma 9000」シリーズと同等かそれ以上の感度で、ほぼ2倍のデータレートを実現。Puma 9000システムを91xxシリーズの性能レベルにフィールドアップグレードすることもできる。
Puma 91xxは、ピクセルの組み合わせが追加されたことでサンプリング数の増加、感度の向上、またはCoOを低減する。独自のマルチピクセルセンサおよびラインスキャンテクノロジ「Streak」が組み込まれており、音響光デバイス(AOD)や光電管(PMT)技術をベースにした暗視野システムの速度や感度の制限を受けることなく、高解像度の暗視野イメージング検査を実施する。レシピセットアップは、新しいFAST(Fast Adaptive Single Threshold)アルゴリズムにより大幅に簡易化された。このアルゴリズムによって、ツールレシピの作成と調整に必要なパラメータの数が、従来の約80％に少なくなっている。また、ビンニングアルゴリズム「Inline Defect Organizer(iDO)」により、欠陥分類がより正確にでき、欠陥の原因を迅速に特定する。 |
|
| 連絡先：米KLA-Tencor社 www.kla-tencor.com |
|
|
|
| ●ウェーハ欠陥検査装置 |
|
メガトレードの汎用タイプの新型外観検査システムは、半導体ウェーハのクラックや汚れなどが高精度でチェックできる。微細な不良個所を際立たせて検知する独自の画像処理ソフトを搭載したウィンドウズPCに顕微鏡を組み合わせたものとなっている。75〜150mm Siウェーハを実体顕微鏡(立体正立像が見える)で見たものを、高画素のCCDエリアカメラで撮像。このデータを専用の画像処理ソフト「Alterf」を搭載したウィンドウズパソコンにより、微小なクラック(割れ)、キズ、汚れ、しみ、ゴミの付着などの不良を高分解能で正確に検出のうえ、表示する装置。本体は倍率が0.75〜11.25倍の実体顕微鏡、ストロボLEDリング照明、400万画素のCCDエリアセンサーカメラ、ウィンドウズPC、ウェーハを乗せる2軸(XY)ステージで構成される。性能は顕微鏡倍率を４倍とした場合で、分解能が1ピクセルあたり1.85μm、視野は3.5×3.5mm、検査時間は75mmウェーハ片面で約90秒。車載用半導体など検査基準のより厳しい工程に有効としている。価格は約750万円から。ユーザーニーズに合わせて受注生産しており、4ユニットの連続自動検査システムの場合は5000万円程度となる。 |
|
| 連絡先：メガトレード www.mega-trade.co.jp |
|
| <<New Products一覧へ |
