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3月号 New Products
[2007年03月号]
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Process
●小規模生産用の超高真空スパッタ装置 JSP-8000
連絡先：アルバック www.ulvac.co.jp
●高出力産業用エキシマレーザー LAMBDA SX 540C
連絡先：コヒレント・ジャパン www.coherent.co.jp
●CVDプロセスプラットフォーム Producer GT
連絡先：米Applied Materials社 www.appliedmaterials.com
連絡先：アルバック www.ulvac.co.jp
●高出力産業用エキシマレーザー LAMBDA SX 540C
連絡先：コヒレント・ジャパン www.coherent.co.jp
●CVDプロセスプラットフォーム Producer GT
連絡先：米Applied Materials社 www.appliedmaterials.com
Material
●300mm DRAMウェーハ用プローブカード Harmony XP
連絡先：米FormFactor社 www.formfactor.com
●SopSiC基板
連絡先：仏Picogiga International社 www.picogiga.com
連絡先：仏Soitec社 www.soitec.com
連絡先：米FormFactor社 www.formfactor.com
●SopSiC基板
連絡先：仏Picogiga International社 www.picogiga.com
連絡先：仏Soitec社 www.soitec.com
Metrology and Inspection
●パターン無しウェーハ検査装置 Surfscan SP2XP
連絡先：米KLA-Tencor社 www.kla-tencor.com
●●バンプ貫通検査装置 NLS-250BB
連絡先：名古屋電機工業 www.nagoya-denki.co.jp
連絡先：米KLA-Tencor社 www.kla-tencor.com
●●バンプ貫通検査装置 NLS-250BB
連絡先：名古屋電機工業 www.nagoya-denki.co.jp
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金属材料のマグネトロンスパッタリングにおけるアーク抑制
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