これまでとは異なる分野で新規事業を創出するため、2006年から本格的にMEMS関連の分野に参入した東京エレクトロン（TEL）。すでにMEMSセンサー用のテスターや高速Siエッチング装置などを製品化している。これらの装置販売に加え、MEMS技術を利用して作製する消耗部材の開発、微細加工技術をバイオなどの異分野に転用する取り組みなどを行っている。

　MEMS事業参入の背景について、同社MEMS事業開発室室長の円城寺啓一氏は、「2000年後半から2001年にかけて、半導体およびFPDのビジネス環境が悪化した。それに伴って当社の業績にも大きな影響があった。当時、マーケティング部に在籍していたが、既存のビジネス環境とは異なる新規事業を創出する使命を受け、MEMS事業の立ち上げに至った」という。

　半導体製造装置開発などで培った技術やノウハウを活かし、MEMS製造に必要な検査装置を開発、MEMSセンサー用テスターとして「TEMEON」を製品化している。TEMEONは、既存のプローバと組み合わせて、ウェーハレベルでMEMSセンサーを検査することが可能である。DCテストに加え、独自の加振機構でMEMSセンサーに物理量を印加することにより、MEMSセンサー可動部の動作を検査することができる。また、プローブ針の低針圧化かつ低接触抵抗を両立したコンタクト技術をテスターに組み込むことで高精度測定を実現する。

　また、同社はMEMS製造装置として、高速Siエッチング装置についても今年から量産機の販売を開始、「夏にも一号機の装置を納品する予定」（円城寺氏）という。同装置は、300mmウェーハに対応しており、高速での貫通ビア加工を実現する。

　新規ビジネス領域を開拓するため、TELではMEMS関連装置の販売のみならず、新たなビジネスモデルの創出を目指し、事業を展開している。MEMS技術を利用して作成した消耗品の開発、販売、これまで培った微細加工技術をバイオやエネルギーといった異分野や異業種に展開するといったビジネスモデルを柱にしている。

　現在、同社ではMEMSの研究・開発を関西テクノロジーセンター（兵庫県尼崎市）にて行い、装置設計などを東京エレクトロンATにて行っている。MEMS事業に関わっている人員は数十人規模という。

　同社では、一般に言われるMEMSの定義とは異なり、独自の定義でMEMSビジネスを推進している。「我々はあくまでもSiを基板とし、数十μmから数μmレベルのプロセス技術のことをMEMSと定義している」（円城寺氏）と説明する。

　数mm径の複数の穴が形成された数cm角の基板をMEMSデバイスとして開発、EBキュア装置の性能を左右するEBウィンドウなどに採用されているという。これら、製造装置に使用される消耗品のMEMSデバイスなどを作製するにあたっては、材料メーカーとのアライアンスや大学との共同研究なども行っている。

　ただ、消耗品としてのデバイスではなく、センサーなどのアプリケーション開発を行うことの可能性については、「将来的なことでいえば、全く可能性がないわけではないが、今の段階では優先度は低い」（同氏）とした。