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8月号 New Products
[2007年08月号]
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Process
●ArF露光装置 NSR-S310F
連絡先：ニコン www.nikon.co.jp/main/jpn/index.htm
●コータ・デベロッパ RF3S
連絡先：SOKUDO www.sokudospeed.com/ja/index.htm
連絡先：ニコン www.nikon.co.jp/main/jpn/index.htm
●コータ・デベロッパ RF3S
連絡先：SOKUDO www.sokudospeed.com/ja/index.htm
Metrology and Inspection
●リソグラフィ最適化ツール LithoWare
連絡先：米KLA-Tencor社 www.kla-tencor.co.jp
●表面トポグラフィ プロファイリング装置 HRP-350
連絡先：米KLA-Tencor社 www.kla-tencor.co.jp
連絡先：米KLA-Tencor社 www.kla-tencor.co.jp
●表面トポグラフィ プロファイリング装置 HRP-350
連絡先：米KLA-Tencor社 www.kla-tencor.co.jp
Material
●最先端CMP研磨パッド VisionPad 3200 VisionPad 3500
連絡先：米Rohm and Haas Electronic Materials社 www.rohmhaas.com
国内連絡先：ニッタ・ハースwww.nittahaas.com
連絡先：米Rohm and Haas Electronic Materials社 www.rohmhaas.com
国内連絡先：ニッタ・ハースwww.nittahaas.com
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