図1 多くの課題に直面する熱処理技術
プロセス評価や速度に対する要求がますます高まるにつれて、さらには、複雑でますます小型化するアーキテクチャーの導入や全く新しい材料の導入などによって、熱処理技術は多くの課題に直面している。そのうち、いくつかは代替策の採用により本格的な導入を先延ばしできる。しかし、本質的な物理限界が近づいてきているため難しい選択が迫られている。　写真：アプライドマテリアルズ社より