表 3次元歪に対する性能
歪の変化方向＊
ｎMOSへの影響
ｐMOSへの影響
ｘ
改善
改善
ｙ
改善
劣化
ｚ
劣化
改善
＊歪の変化は張力の増加あるいは圧縮応力の減少を示す
出典：TSMC社