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キヤノンMJ、Obducat社と
ナノインプリント装置の独占販売契約を締結

[issued: 2007.02.15]

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量産向けナノインプリント装置「Sindre」

 キヤノンマーケティングジャパン(キヤノンMJ)は、スウェーデンObducat社と、同社製ナノインプリント装置の日本国内における独占販売契約を締結、2007年3月1日より販売を開始すると発表した。
 Obducatのナノインプリント装置は、熱とUVを用いて基板前全面に一括転写する方式を採用。空気圧を利用した独自の「SoftPress」技術により、基板全面へ均一に微細パターンを転写することが可能。また、温度制御と紫外線照射を同時に行う「STU(Simultaneous Thermal and UV)」技術を採用しており、基板への正確なパターン転写を実現する。さらにマスタースタンパと基板が直接接触するのを避けることが可能な「IPS(Intermediate Polymer Stamp)」技術により、スタンパの長寿命化を図るとともに、ほこりなどの異物が付着した際の転写不良を最小限に抑えるなど、歩留まりを向上させている。
 今回、キヤノンMJが販売を開始するのは、量産向け装置の「Sindre」およびR&D向けのナノインプリント装置。Sindreは最大8インチ角の基板に対応、R&D向け装置は2.5~6インチ径の基板に対応している。価格はそれぞれ、Sindreが5億円から、R&D向けが2500万円~1億5000万円となっている。



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