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キヤノンMJ、Obducat社と
ナノインプリント装置の独占販売契約を締結
[issued: 2007.02.15]
量産向けナノインプリント装置「Sindre」
Obducatのナノインプリント装置は、熱とUVを用いて基板前全面に一括転写する方式を採用。空気圧を利用した独自の「SoftPress」技術により、基板全面へ均一に微細パターンを転写することが可能。また、温度制御と紫外線照射を同時に行う「STU(Simultaneous Thermal and UV)」技術を採用しており、基板への正確なパターン転写を実現する。さらにマスタースタンパと基板が直接接触するのを避けることが可能な「IPS(Intermediate Polymer Stamp)」技術により、スタンパの長寿命化を図るとともに、ほこりなどの異物が付着した際の転写不良を最小限に抑えるなど、歩留まりを向上させている。
今回、キヤノンMJが販売を開始するのは、量産向け装置の「Sindre」およびR&D向けのナノインプリント装置。Sindreは最大8インチ角の基板に対応、R&D向け装置は2.5~6インチ径の基板に対応している。価格はそれぞれ、Sindreが5億円から、R&D向けが2500万円~1億5000万円となっている。
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