アジレント・テクノロジーが、新しいパラメトリックテストプラットフォーム「Agilent 4080」シリーズを発表した。Agilent 4080では、既存の「Agilent 4070」シリーズと互換性を維持したまま、高速なCPUを採用し、また、「Virtual Multiple Testhead Technology」を採用することでスループットを10～20％改善した。

　 Agilent 4080シリーズは、同社「Agilent SPECS(半導体プロセス評価用テストシェル)」と組み合わせることで、非同期および同期パラレルテストの両方を実現した。同期パラレル測定は、小規模に配列されたデバイスを測るのに効率的。さらに、独自のVirtual Multiple Testhead Technologyでは「非同期パラレル」テストが可能となった。非同期パラレルテストでは、複数の異なるテストを完全に独立して実行できるようになっている。この非同期パラレルテストにより、最大で50％のテストタイム短縮を実現した。

　アジレントによると、先端プロセスを採用した半導体工場では、微細化および新材料や新構造のトランジスタの導入により今までにも増して、測定項目や測定量が増大しているという。テストコストを削減するためにパラレルテストのニーズが増大しており、また、フラッシュメモリーのセル評価、RF Sパラメータ測定などが求められている。さらに先端プロセスでは、例えば拡散工程やリソグラフィ工程のLER(Line Edge Roughness)などによりデバイスのばらつきが増大しており、高精度の測定が求められている。