米VLSI Research社は、半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、データストレージ用の製造装置に使用される装置サブシステム・部品の2006年売上高上位10社を発表した。

　独Carl Zeiss SMT社が英BOC Edwards社を抑え、6億8700万ドルで首位の座を堅持した。Carl Zeissは2005年同様にArF露光装置用レンズの売上が寄与し、さらに液浸用のレンズの量産および出荷が始まったものと見られる。2位のBOCはポンプや薬液供給装置、米MKS Instruments社はマスフローコントローラ(MFC)などの装置部品で売上高を前年比40％増とし3位を堅持した。4位は、搬送系大手の米Brooks Automation社。Brooksはクライオポンプ大手の米Helix Technologies社を買収したことで売上高を増加させていた。5位に米Advanced Energy社、6位は露光装置用レーザー光源大手の米Cymer社。上記6社の順位は、2005年と同様で変動がなかった。

　7位は、MFCメーカー米Celerity社。同社は、2006年に米Mykrolis社(現Entegris社)の圧力計およびフロー関連業務の買収を完了し、トップ10に初めて入った。仏Alcatel Vacuum Technology社が前年の11位から8位に返り咲き。9位に荏原製作所、10位に堀場製作所が続いた。

　2006年は、上位10社の売上高が装置部品(Critical Subsystems)産業全体の半分以上を占めた。VLSIでは、2000年の調査時には同比率が41％だったとし、これは業界の合併や買収による整理統合、業界再編が続いていることを意味するとしている。