米国の調査会社VLSI Research社は、特定分野向け半導体製造装置メーカーおよび大規模半導体製造装置メーカーについて2007年の顧客満足度ベスト10を発表した。これによると、特定分野向けでは米Orthodyne Electronics社が、大規模メーカーでは米Varian Semiconductor社がそれぞれ1位となった。両社ともに総合評価で8.0ポイント以上を獲得した。
　特定分野向けのランキングにおいては、上位5社（独PVA TePla社、独Carl Zeiss社、米Rite Track社、米Kulicke&Soffa社）までが総合評価で8.0ポイント以上を獲得した。特定分野向けは総合評価が僅差となり、1位から10位までの差は0.5ポイント以下であった。特定分野向けで1位となったOrthodyneは、アフターサービスやテクニカルリーダーシップの項目で最高ポイントを獲得、2位のPVA TePlaは、CoC（Cost of ownership）、アップタイム、有効スループット、製品性能などの項目でトップを獲得した。
　大規模半導体製造装置メーカーでは、Varianが13項目中12項目で最高ポイントを獲得、総合評価においても唯一8.0ポイント以上を獲得した。大規模メーカー2位の蘭ASML社はテクニカルリーダーシップで最高ポイントを獲得した。