物質・材料研究機構（NIMS）は、各種成膜条件を正確に制御でき、複数のサンプルの成膜プロセスを自動化したコンビナトリアルスパッタコーティングシステムを開発したと発表した。同システムは、NIMS材料信頼性センター 微小材料工学グループの後藤真宏主幹研究員が、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の2007年度産業技術研究助成プロジェクト「パルスレーザーを用いた新規ナノコンポジットコーティングの創製と次世代切削工具の開発」の一環として、同グループの土佐正弘グループリーダーおよび笠原章主幹研究員らと共に開発したもの。同システムを用いることで、最適成膜制御パラメータの決定が、従来システムと比べて10倍以上の高速化が可能になったという。

　スパッタは産業界で広く用いられている成膜手法の一つであるが、成膜時における制御パラメータが非常に多く、精確なパラメータ制御が困難で、成膜特性の再現性や最適化に要する時間がかかるという問題があった。今回、後藤氏らは複数のサンプル基板を一度に真空チャンバー内に導入し、同条件に保つこと、到達真空度を8×10-6Pa以下とすることなどコーティングシステムを工夫し、成膜の結晶性および結晶配向性を再現性よく作製することを可能にした。また、各々のサンプルについて7つの成膜実験パラメータをあらかじめパラメータレシピ表に登録し、それらをコンピュータ制御で設定して14枚のサンプルを全自動で成膜することができるシステムを実現した。

　成膜中のオペレータが不要になるのに加え、正確な成膜実験条件でサンプル作製が可能で、再現性のよい成膜が行えるため、従来数週間かかっていた実験期間を2～3日で行え、成膜のための実験パラメータの最適化を短期間で実現できるようになるという。なお、同システムは共同研究企業である大和機器工業が2007年秋にも販売する予定。