蘭ASML社は、台湾の台北で開催中の「SEMICON Taiwan 2007」において、同社のTWINSCAN i線スキャナを使用した台湾のユーザーが、1時間あたりウェーハ150枚で24時間処理し、1日に3596枚のウェーハ処理を記録、300mmウェーハでの高い生産性を達成したと発表した。

　今回の記録は、世界中に700台以上設置されているTWINSCANシステムの1台である、TWINSCAN XT:400F i線スキャナを用いて達成された。TWINSCANシステムは、2つのステージが計測と転写を交互に行うことによりノンストップのウェーハ露光を実現するデュアル・ステージ・ウェーハ処理技術を採用している。ASMLの300mm対応i線スキャナは、他の300mm対応スキャナと同様TWINSCANプラットフォーム上に構築されており、容易なアップグレードと高いマッチング性能を実現。優れたValue of Ownershipを証明するとともに、i線プロセスに使用されるスペースを削減することができるという。

　ASMLは、2007年上半期に300mm対応のi線装置を30台出荷した。これは2006年の出荷総数を上回るという。なお、同社ではi線スキャナの新たな製品として、XT:400Fよりもスループットを10％向上させたXT:400Gモデルを2007年中にラインアップに加える予定という。