News Center

Intel、45nmプロセス対応の量産施設「Fab32」の稼動を開始

[issued: 2007.10.30]

この記事を :  印刷する プリントする ブックマーク  はてなブックマークに登録 この記事をクリップ! Buzzurlにブックマーク Yahoo!ブックマークに登録 メールで送る メールで送る
稼動を開始した45nmプロセス対応のFab32
稼動を開始した45nmプロセス対応のFab32

 米Intel社は、45nmプロセス技術に対応した同社初の半導体量産施設「Fab32」(米国アリゾナ州チャンドラー)にて、PCやサーバー向け新世代マイクロプロセッサーの製造を開始したと発表した。Fab32の総工費は30億ドルで、床面積は約100万平方フィート(約9万3000m2)、約18万4000平方フィート(約1万7000m2)のクリーンルームを整備している。同Fabには、プロセスや自動化、イールド・エンジニアリングや製造技術技師など1000人以上が従事する。

 IntelにとってFab32は、300mmウェーハ対応の製造施設として6番目、45nmプロセス対応の半導体製造施設としては2番目となる。同社は2007年1月に米国オレゴン州の製造拠点にある開発量産施設「D1D」にて45nmプロセッサーの製造を開始、今回のFab32の竣工によって量産体制を強化する。同社はさらに、300mmウェーハおよび45nmプロセス技術対応の製造施設として、イスラエル・キリヤットガットの製造施設「Fab28」および米国ニューメキシコ州リオ・ランチョの製造施設「Fab11X」の操業を2008年に予定している。

 今回稼動を開始したFab32は、環境に配慮した施設として電力・水の保全対策が講じられている。同社の45nmプロセス技術は、地球温暖化ガスの排出量で15%の削減効果があるとされ、Fab32では同社がアリゾナ州で展開する斬新な水資源の保全/再利用プログラムを通じて水の使用量を70%以上節約するという。環境に配慮した建物建築の推進を目的に制定された評価制度「LEED(Leadership in Energy and Environmental Design)」において、同社初の施設認定を目指している。

 同社が量産する45nmトランジスタには、ゲート絶縁膜にHf系のHigh-k材料、ゲート電極に複合金属材料が使用されており、主にPCやサーバー向けの高速で電力効率に優れたマイクロプロセッサーや、携帯端末やデジタル家電機器向けの超低電圧プロセッサーなどを製造する。同社では、2007年11月12日(米国時間)にも45nmプロセッサーを発表する予定という。

天井のレールに沿ってFOUPを自動で搬送
天井のレールに沿ってFOUPを自動で搬送


この記事を :  印刷する プリントする ブックマーク  はてなブックマークに登録 この記事をクリップ! Buzzurlにブックマーク Yahoo!ブックマークに登録 メールで送る メールで送る

SI Japan RESOURCE CENTER

アドバンスドエナジージャパン株式会社
金属材料のマグネトロンスパッタリングにおけるアーク抑制
JPN-ArcSputmetal-270-01.pdf
資料一覧を見る
この資料をダウンロード

EVENTS