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住友化学、ArFレジストの評価装置を導入して生産体制も強化
[issued: 2007.11.02]
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住友化学は、ArFエキシマレーザー用のレジストについて、大阪工場内に専用工場を新設し、最新のArF液浸露光装置を含む評価装置を拡充すると発表した。
同社は、ArFレジスト「スミレジストPAR」シリーズを市場展開しており、トップコートの有無に関わらず使用できるArF液浸用レジストなどを製品化している。また、ArF液浸用レジスト対応の「光酸発生剤（PAG）」など基幹材料の開発にも成功している。同社は今回、それら製品の量産化も図るため、大阪工場内にダウンフロー仕様のクリーン化技術を活用したArFレジスト専用工場を新設、ArF液浸露光装置などの評価装置の導入する。
評価装置の稼動開始は2008年第3四半期からを予定しており、ArFレジスト専用工場の完成は2008年第4四半期を予定している。新工場では、約10万ガロン/年の生産体制を整備する。これにより、ArFレジストの開発・供給体制の強化を図り、半導体分野事業および情報電子材料事業の拡大を進める。
同社は、ArFレジスト「スミレジストPAR」シリーズを市場展開しており、トップコートの有無に関わらず使用できるArF液浸用レジストなどを製品化している。また、ArF液浸用レジスト対応の「光酸発生剤（PAG）」など基幹材料の開発にも成功している。同社は今回、それら製品の量産化も図るため、大阪工場内にダウンフロー仕様のクリーン化技術を活用したArFレジスト専用工場を新設、ArF液浸露光装置などの評価装置の導入する。
評価装置の稼動開始は2008年第3四半期からを予定しており、ArFレジスト専用工場の完成は2008年第4四半期を予定している。新工場では、約10万ガロン/年の生産体制を整備する。これにより、ArFレジストの開発・供給体制の強化を図り、半導体分野事業および情報電子材料事業の拡大を進める。
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