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ASM Internationalと日立国際電気、ALD技術関連のライセンス契約を締結
[issued: 2007.11.29]
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Japan Corporate News Networkによると、蘭ASM International社と日立国際電気は、ALD（Atomic Layer Deposition）技術に関するライセンス契約を締結したと発表した。ASMはバッチ式ALDに関する同社のALD関連の特許の使用を日立国際電気に許可するとしている。この契約の詳細については明らかにされていない。
同発表では、ASMはALD特許と垂直炉でのバッチ式ALD処理の特許を含めて多数の特許を保持しているという。
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