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Advanced Energy、新型RF電源供給システムをSEMICON Japanに出展

[issued: 2007.11.29]

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 米Advanced Energy社は、SEMICON Japan 2007で同社新製品となる電源供給システム「Paramount RF」を重点的に展示する予定。このほか、加熱気化システム「Aera AS-92」や排気圧コントローラ「Aera EPV」なども展示する予定としている。

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