オムロンは、製品開発から量産までの200mmウェーハ対応MEMS一貫ラインを、同社子会社のオムロン セミコンダクターズ（OSC）に新設したと発表した。オムロンでは、同ラインを用いて2008年4月からMEMSマイクロフォンの量産を開始、高周波のRF MEMSスイッチや圧力センサーといった今後需要増大が見込まれるMEMSデバイスの生産を順次検討するという。

　同社はこれまで、125mmウェーハ対応のラインにてMEMSを生産していたが、OSCにて保有する200mmウェーハの量産技術やノウハウを活かして、200mmウェーハMEMSの量産に着手する。MEMSラインでは、3次元構造体を形成するためSiウェーハを加工するエッチング装置や薄膜を形成するための成膜装置をはじめ、MEMSデバイスの生産に必要な設備を導入。2008年度中に200mmウェーハで約1000枚/月の量産体制を整える予定。

　オムロングループでは1980年代後半にMEMS技術の研究に着手。1996年には静電容量型圧力センサーおよび加速度センサーの量産を開始、その後、フローセンサー、サーマルセンサーなどを商品化している。現在までにMEMSデバイスの出荷実績は累計で3000万個を超える。同社では、基礎研究から開発、量産、ファンドリ事業をはじめ、新規MEMSデバイス開発にも取り組んでいる。

　今回のMEMS量産ラインの200mmウェーハ化は、半導体の200mmウェーハ化を成功させたメンバーと、MEMS開発および量産技術を確立したメンバーの混成チームで進めているという。