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IMECとAlbany NanoTech、EUVリソの研究開発で提携
[issued: 2008.01.22]
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ベルギーIMECと米ニューヨーク州立大学Albany校ナノスケール科学工学カレッジ(College of Nanoscale Science and Engineering：CNSE)は、EUVリソグラフィ技術の実用化を加速させるため、共同で研究開発を進めると発表した。
CNSEのAlbany NanoTech Complexにて共同研究を開始し、いずれはCNSEおよびIMECの両施設にて研究活動を行う計画。主な取り組みとして、EUVリソグラフィの解像性能の向上をはじめ、新規材料や装置性能の評価・測定を行うという。
なお、今回の提携にはアライアンス企業として米IBM社と蘭ASML社も含まれており、32nm以降のプロセス技術へ向けたEUVリソグラフィの実用化を目指す。
CNSEのAlbany NanoTech Complexにて共同研究を開始し、いずれはCNSEおよびIMECの両施設にて研究活動を行う計画。主な取り組みとして、EUVリソグラフィの解像性能の向上をはじめ、新規材料や装置性能の評価・測定を行うという。
なお、今回の提携にはアライアンス企業として米IBM社と蘭ASML社も含まれており、32nm以降のプロセス技術へ向けたEUVリソグラフィの実用化を目指す。
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