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Brion Technologies、NECエレからOPCツールを受注
[issued: 2008.01.25]
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蘭ASML社の子会社であるBrion Technologies社は、NECエレクトロにクスから40nmデバイス生産を可能にするOPC（近接効果補正）ツール「Tachyon OPC+」を大規模受注したと発表した。
NECエレクトロニクスでは、65nmでのRET/OPC設計の検証および検査用として数年前よりBrionのTachyon/RDIを使用。Tachyon OPC+を加えることで、ハードウェアおよびソフトウェアプラットフォームであるTachyon上でプロダクションフローを最適化できるようになるという。
NECエレクトロニクスでは、65nmでのRET/OPC設計の検証および検査用として数年前よりBrionのTachyon/RDIを使用。Tachyon OPC+を加えることで、ハードウェアおよびソフトウェアプラットフォームであるTachyon上でプロダクションフローを最適化できるようになるという。
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