東京エレクトロン（TEL）は、薄膜Si太陽電池用プラズマCVD装置を製品化するにあたり、その開発を目的とした新会社をシャープと合弁で設立することで合意したと発表した。合弁会社の名称は「東京エレクトロンPV」で、TELが51％、シャープが49％を出資する。今後、装置開発を新会社にて行い、装置の製造および販売についてはTELが行うという。初号機出荷は2009年を予定している。

　薄膜Si太陽電池は、太陽電池の種類の一つで、ガラス基板上に薄膜のSi層を形成するタイプの太陽電池。TELが半導体およびFPD製造装置で培ってきた真空プラズマを用いた量産装置技術と、シャープの薄膜Si太陽電池製造技術を融合させることで、生産性の高い薄膜Si太陽電池用プラズマCVD装置の開発を目指す。

　なお、今回の合意は、薄膜Si太陽電池用プラズマCVD装置に関してのみで、FPD製造装置他の事業を含めた包括的提携ではないとしている。

＜新会社の概要＞
会社名：東京エレクトロンPV
本社所在地：山梨県韮崎市
資本金：5000万円
出資比率：東京エレクトロン51％、シャープ49％
設立日：2008年2月6日