ギガフォトンは、液浸のダブルパターニングに対応した露光装置用の光源として、インジェクションロック技術を搭載したArFエキシマレーザー「GT62A」の出荷を開始したと発表。同製品は、新たに開発した電源を採用することで、出力60Wの従来製品と比較して50％向上させた90Wの高出力を実現。高出力化に伴って増大する熱負荷への対策技術や新開発した高耐久性の光学素子を搭載し、高出力運転時にも性能の安定性を確保している。また、独自技術のBCM（Bandwidth Control Module）を標準装備、安定したスペクトルを提供するという。

　GT62Aの発振波長は193nmで、最大発振周波数6000Hz、スペクトル幅（95％エネルギー積算）＜0.35pmを実現している。すでに露光装置メーカーに初号機を納入しており、ニーズが高まっているダブルパターニング露光装置への導入もサポートする。高出力・高稼働率と同時に、メンテナンス時間・運転コストの低減も実現。レーザーチャンバ交換によるダウンタイムとコストを削減する技術をはじめ、ガス交換によるダウンタイムを従来の1/10に削減する技術などを標準で搭載している。

　同社では、様々なユーザーニーズに対応するため、60W出力の仕様についてもラインナップ。これにより、導入当初はコストを抑えながら60W出力で運転を続け、将来必要になった時点で90Wにアップグレードすることが可能で、最適なタイミングで必要な投資をしながら使用できるとしている。