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TSMC、2008年2Qにも40nmプロセスのウェーハ出荷へ
[issued: 2008.03.24]
台湾ファウンドリのTSMC社は、40nmプロセス技術を開発したことを明らかにした。新技術は、汎用の40G(General Purpose)、低電力の40LP(Low Power)に対応しており、2008年第2四半期にもウェーハ出荷を予定しているという。
65nmプロセスと比べてゲート密度は2.35倍の高密度化を実現、動作電力は45nmプロセスと比べて15%までの削減が可能という。40LPは、ワイヤレスやポータブル機器向け、40GはCPUやGPU(Graphic Processing Unit)などを含む高性能な民生機器向けという。45nmと比べて40nmでは、SRAMの性能を維持しつつフットプリントを縮小することができ、SRAMセルのサイズは0.242μm2で業界でも最小の寸法になるという。
同社は今回、40nmプロセスの開発について、ArF(193nm)リソグラフィと超Low-k材料との組み合わせにより実現したという。同社は今後、40Gおよび40LPプロセスについて300mmウェーハ対応の「Fab 12」にて生産を開始し、市況に応じて「Fab 14」へと移管する計画という。
65nmプロセスと比べてゲート密度は2.35倍の高密度化を実現、動作電力は45nmプロセスと比べて15%までの削減が可能という。40LPは、ワイヤレスやポータブル機器向け、40GはCPUやGPU(Graphic Processing Unit)などを含む高性能な民生機器向けという。45nmと比べて40nmでは、SRAMの性能を維持しつつフットプリントを縮小することができ、SRAMセルのサイズは0.242μm2で業界でも最小の寸法になるという。
同社は今回、40nmプロセスの開発について、ArF(193nm)リソグラフィと超Low-k材料との組み合わせにより実現したという。同社は今後、40Gおよび40LPプロセスについて300mmウェーハ対応の「Fab 12」にて生産を開始し、市況に応じて「Fab 14」へと移管する計画という。
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