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Keithley、半導体特性評価システムのソフトウエア新版を発表

[issued: 2008.08.12]

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 米Keithley Instruments社は2008年8月、同社の「4200-SCS型 半導体特性評価システム」用ソフトウエアの新版「Keithley Test Environment Interactive(KTEI) V7.1」を発表した。オプションのハードウエア「4200-CVU(Capacitance Voltage Unit)型パワーパッケージ」とともに用いることにより、C‐V試験、パルス試験、I‐V試験を1台で行うことができる。

 KTEI V7.1は、400種類以上のデバイス試験ライブラリを備えている。うち20個はC‐V試験に特化したものだ。4200-CVU型パワーパッケージと組み合わせると、最大200V(差動では400V)、300mAのC‐V試験が可能となる。このような耐圧を備えることから、自動車やディスプレイ、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)などで使用される、LDMOS(Laterally Diffused MOS:横方向拡散MOS)などのパワー半導体デバイスの試験を行うことができる。そのほか、低電圧CMOSやHigh-k絶縁膜などの特性評価に適した準静的(Quasistatic)C‐V測定も行える。

 既存の4200-SCS型については、無償でKTEI 7.1にアップグレードできる。4200-CVU型パワーパッケージはオプションとして注文可能で、価格は38万円。


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