米Applied Materials社（AMAT）は8月、半導体の研究推進を目的とし、米カリフォルニア大学バークレー校に本拠を置くCITRIS（Center for Information Technology Research in the Interest of Society）のナノファブリケーション研究所に500万ドル相当の半導体製造装置およびサービスを提供することを明らかにした。同社は2002年にも同校に半導体製造装置を寄贈しており、今回はそれを補うものになる。

　CITRISでは、大学院生や教職員、企業の研究者らが、世界で最も緊急の課題だとされる社会/環境/健康の問題に向けたナノテクノロジソリューションの研究に取り組んでいる。

　AMATで副CTO（最高技術責任者）兼高度技術担当バイスプレジデントを務めるOm Nalamasu氏は発表の中で、「技術を飛躍的に前進させるためには、学生が最先端の装置を使って半導体デバイスに関する実践経験を積むことが重要だと考えている。CITRISに参加できることは当社にとって喜ばしいことだ。また、学生や教職員と共同で研究に取り組むことで、大学との連携が強化されることを期待している」とコメントした。

　UCバークレー校工学部の学部長であるShankar Sastry氏は、「提供してもらった装置/サービスは、工学部の学生が、半導体技術やそれに関連するナノ加工技術の基礎研究を加速させるために使わせてもうら。これにより新しい発見も生まれてくるだろう」と述べた。

　AMATとUCバークレー校は、「ほかにも、CITRISは、AMATが寄贈した、次世代集積回路の一部として最も重要な2つの薄膜（エピタキシとゲート絶縁膜）を形成するシステムを使用して、まったく新しい半導体デバイスに関する研究や、ナノワイヤー/ナノチューブ、MEMS、光エレクトロニクス、バイオエレクトロニクスとの融合に関する研究を進めることを計画している」と説明した。

　さらに、AMATからの寄贈に対するアウトプットの1つとして、UCバークレー校は、同社向けに、エネルギーの研究を行う共同研究所をCITRIS内部に開設する予定であることを明らかにした。この研究所は、教職員や学生、企業の研究者らに、プロジェクトベースの共同研究の場を提供することになる。

（Electronic News）