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アプリシアテクノロジーがAIXTRON米子会社と販売業務で提携、
ALD装置市場に参入

[issued: 2008.08.13]

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 アプリシアテクノロジーは7月、米AIXTRON Inc.社と販売に関する契約を締結したと発表した。この契約により、アプリシアテクノロジーはAIXTRONのSi半導体市場や薄膜磁気ヘッド向けのCVD(Chemical Vapor Deposition)装置、AVD( Atomic Vapor Deposition)装置、ALD(Atomic Layer Deposition)装置の日本での販売、装置立上げおよびメンテナンスサービスの提供を開始する。

 AIXTRON Inc.は、独Aixtron社のグループ子会社。もとのGenus社を前身とする。ALD装置および同社独自のAVD装置により、メモリー用成膜装置で大きな市場シェアを握っているとみられる。SEMICON West 2008 において同社は、ALD装置「QXP-8300」を発表。従来のALD 装置に比べてスループットを向上させた。同装置も日本市場ではアプリシアテクノロジーの販売となる模様。

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