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Vecco の 新型全自動3次元原子間力顕微鏡が検収を受領
[issued: 2008.10.14]
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米Vecco Instruments社は、同社の新型 InSight全自動3 次元原子間力顕微鏡（3DAFM）プラットフォームが光学近接効果補正（OPC）のクリティカルディメンション（CD）基準計測用として、半導体分野の主要顧客である世界的企業からの検収を受領したと発表した。
同装置は、45 nm および 32 nm 半導体のクリティカルディメンションを高精度、非破壊、高分解能で3 次元（3D）計測できるうえ、充分な計測速度も備えており、残存測定誤差を減らし、OPCサイクルタイムを低減し、先進の半導体素子を市場に投入するまでの時間を短縮し、プロセス開発コストを大幅に低減することができるとしている。
また、同社は、韓国を本拠とする大手半導体素子メーカーからこのシステムの新規注文を受けたことも発表した。
同装置は、45 nm および 32 nm 半導体のクリティカルディメンションを高精度、非破壊、高分解能で3 次元（3D）計測できるうえ、充分な計測速度も備えており、残存測定誤差を減らし、OPCサイクルタイムを低減し、先進の半導体素子を市場に投入するまでの時間を短縮し、プロセス開発コストを大幅に低減することができるとしている。
また、同社は、韓国を本拠とする大手半導体素子メーカーからこのシステムの新規注文を受けたことも発表した。
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