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FormFactor、DRAM テスト能力を倍増する
ウェーハプローブカードを発表

[issued: 2008.11.26]

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 米FormFactor社は、TREテスト技術「DC-Boost」を発表した。DC-Boostにより、テスターチャンネルの利用効率が高まり、同時にテストできるデバイスの数を倍増できるとしている。さらに、既存テスターの寿命を延ばし、総合的なテストコストの削減が可能という。DRAM ウェーハテスト用のプローブカード「PH150XP」と「Harmony XP」に搭載されている。

 DRAMのウェーハあたりのダイ数は上昇を続けており、1500 を超える場合がある。生産性を高め、テストコストを削減するためには、タッチダウン数を削減することが必要。DCBoostは、ASIC の搭載によってウェーハプローブカードのインテリジェンスを高め、ウェーハテストの並列処理を新たな次元に押し上げることができる技術。既存設備の利用効率を最適化するとともに、今後のデバイス設計やテスターのプラットフォームにおいて、並列試験数を増やすという明確なロードマップを提供できるという。テスターの能力の1 つであるDUT(被試験デバイス)数を拡大できるほか、過剰試験あるいは過小試験につながるおそれがある電圧降下を最小限に抑えることが可能。電圧を正確に測定できるように、デバイスを絶縁状態でテストすることもできる。信頼性の高いテストを実現し、歩留まりを高められるとしている。

 日本国内では、テラプローブが同技術を採用した。テラプローブ社最高技術責任者の小沢雅英氏は、「効率を高め、コストを削減し、高レベルの信頼性を確保し、製造目標を達成できる総合的なテストソリューションを顧客各社に提供する、それがテラプローブのミッションだ。FormFactorのDCBoost機能は、当社のミッションに資するもの」と述べている。

 また、同社は東京カソード研究所(TCL)と、FormFactorのパラメトリックおよびイメージセンサー測定用プローブカードの国内での専任代理店として正式に契約したと発表した。東京カソード研究所は、1950 年に創立。半導体、LCD 、PDP 検査装置、プローブカード、電気材料、CRT 部品、液晶バックライト用モリブデン電極などを開発、製造、販売している。

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