東京エレクトロン (TEL)と英Edwards社は、共同開発によるエッチング装置向けPFCガス除害装置「PA-01T」を共同で開発、2009年夏に市場にリリースすると発表した。TELは、地球環境問題の深刻さを認識し、その解決に貢献していくため、TELの装置開発で培った技術とEdwardsのPFCガス除害システムのノウハウを結集することで、高分解率・低ランニングコストを実現するPFCガス除害装置の開発を進めてきた。

　PA-01Tは、絶縁膜エッチング工程などから排出される地球温暖化係数の高いPFCガスを高効率に除害する装置。この装置は、アドテックプラズマテクノロジーとの共同開発による高分解率で、かつ安定的な稼動ができるプラズマ除害ユニットを搭載している。また使用エネルギーコストが低く、また消耗部品、メンテナンス等のランニングコストを大幅に削減することにより、CoOを改善。さらに、独自構造でCOも除害出来るため、別置きのCO除害装置が不要となるとしている。