東京エレクトロン（TEL）は、200mm対応ウェーハプローバ「Precio octo」(プレシオ　オクト)を発売した。Precio octoは、300mm対応ウェーハプローバ「Precio」で実証された多くの技術をフィードバック。200mmウェーハが採用されている、環境対応用途や車載用途に使用されるパワーデバイスなどのテスト工程に対応する。Precio octoは2009年初めより受注を開始し、200台の出荷を予定している。

　200mmウェーハを採用したデバイスは、小チップ、短テスト時間のため、プローバのスループット向上が生産性改善、テスティングコスト低減、OEE向上に対し、ますます重要になってきているという。

　すでに9000台以上の納入実績がある「P-8 Series」の次世代機種として300mm対応装置の多くの技術を適用したとしており、既存装置に対してインデックス時間を最大25%、ウェーハ交換時間を25%以上向上させた。さらに、On Axis Alignment搭載により、高XY/Z精度を実現し、主要部品/光学系の大幅な改善・改良、SEMI E-95の画面レイアウトに準拠しP-8 Seriesとの操作互換、さらにはRoHS指令に対応した。オプションで、「TELPADS-I」を搭載することにより、超高速針痕自動検査によるプローブカードの良否判定と針痕品質保証を実現する。